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            三氟化氮氣體產品質量標準
            發布時間:2014/2/28 15:46:56   瀏覽次數:10557次 
            雜質 NF3≥99.995% Vol.% NF3≥99.99% Vol.% NF3=99.99% Vol.% NF3≥99.9% Vol.%
            CF4 ≤20 Vol.ppm ≤40 Vol.ppm ≤80 Vol.ppm ≤300 Vol.ppm
            N2 ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
            O2+Ar ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm
            CO2 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
            H2O ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
            酸(以HF計) ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
            SF6 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
            N2O ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
            CO ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm

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