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            六氟化鎢氣體產品技術指標
            發布時間:2014/2/28 15:45:11   瀏覽次數:10274次 
            氣體雜質 N2 O2+Ar CO CO2 CF4 NF3 SF6 SiF4 HF
            含量(ppbw 氣相) <1 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 g2-3.gif"width="200"height="9">

            金屬雜質 Al Ca Co Cr Cu Fe K Mg Mn Mo Na Ni Pb Th U Zn
            含量(ppbw 液相) <0.2 <0.01 <0.01 <0.02 <0.01 <0.02 <0.15 <0.01 <0.1 <0.5 <0.015 <0.1 <0.02 <0.1 <0.05 <0.05


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