六氟化鎢
            六氟化鎢
            發布時間:2016/6/23 16:47:33   瀏覽次數:15699次 

            從事六氟化鎢的研發生產已有十余年的時間,現已100t/a的高純(百分之99.9999)六氟化鎢生產線,填補了國內空白,產品指標處于國際較高水平,產生了良好的社會效益和經濟效益。特氣工程部生產的高純六氟化鎢(WF6)氣體產品擁有自主知識產權,產品質量達到國家先進水平。獲得河北省科技進步二等獎,邯鄲市科技進步一等獎等榮譽。
            六氟化鎢是CVD工藝的原材料,在超大規模集成電路領域有著廣闊的應用,近年來隨著超大規模集成電路工業的快速發展,六氟化鎢的需求量日益增大。
            氣體標識
            名稱:六氟化鎢 CAS號:7783-82-6 分子式:WF6 

            結構式:

            氣體物化特性

            包裝規格:采用鋼質無縫氣瓶盛裝,以下包裝方式可根據用戶需要定制更改

            儲存及運輸
            儲存:存儲區溫度不可高于52℃且不應有可燃物。存儲區域應遠離頻繁出入處和緊急出口。不應有鹽或其他腐蝕性物質存在。在通風良好且不受天氣影響的地方存儲,鋼瓶應固定直立擺放。對于還未使用的氣瓶應保持閥蓋和輸出閥的密封完好。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時間過長。使用先進先出系統。保存庫存記錄。
            特殊要求:在有潮氣的情況下六氟化鎢能腐蝕大多數的金屬。系統中不應有潮氣。在系統使用前及停止使用后應用干的惰性氣體(氦,氮等)吹掃。碳鋼、不銹鋼、鎳、Monel 合金(Ni-Fe-Cu)及銅可以在沒有潮氣的情況下使用。不要用黃銅和鋁。Ni-Mo-Cr合金、鉑及金有很好的抗腐蝕性,可以在有潮氣的情況下使用。Kel-FTeflon是墊圈的材料。六氟化鎢可以腐蝕玻璃和陶瓷。
            六氟化鎢氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸,防止鋼瓶及附件破損。
            六氟化鎢氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將六氟化鎢氣瓶固定好,用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。
            泄漏應急處理
            從受影響的地區疏散所有人。加強泄漏區的通風并檢測氟化氫的濃度。如果泄漏較大,應考慮對下風口處進行疏散。救援人員應使用適當的防護設備。泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。如有工作人員中毒,應立即送往醫院救治。
            六氟化鎢(WF6)氣體產品技術指標 (WF6≥百分之99.999)

            六氟化鎢(WF6)氣體的應用
            在鎢的氟化物中,六氟化鎢是穩定并被工業化生產的品種。它的主要用途是在電子工業中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用作大規模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復合涂層,可用于X-射線的發射電極。此外,六氟化鎢在電子行業中還主要用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。
            六氟化鎢還有許多非電子方面的應用,例如通過CVD技術使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件,如鎢管和坩堝等。此外,WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。


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