三氟化氮
            三氟化氮
            發布時間:2016/7/23 16:00:11   瀏覽次數:21220次 


            三氟化氮,我們1979年開始研制,已有四十多年的研發生產經驗。NF3是重要的清洗刻蝕氣體,在半導體和液晶行業有廣泛的應用。特氣工程部現已建成1350t/a的高純(百分之99.999)NF3生產線,擁有自主知識產權,產生了良好的社會效益和經濟效益。我所生產的NF3產品已供給幾乎國內所有的半導體生產廠及大部分液晶面板廠商,同時銷往臺灣、日本、新加坡、歐洲及美國等地。
            氣體標識
            名稱:nitrogen trifluoride 分子式:NF3 
            氣體物化特性

            分子量 

            熔點 

            沸點 

            臨界溫度 

            臨界壓力 

            液體密度 

            氣體密度 

            水中溶解度 

            CAS 

            危險性類別 

            71.01 

            -206.8(1atm) 

            -129(1atm) 

            -39.3 

            44.02atm(4.46MPa) 

            1554kg/m3(1atm沸點時) 

            2.95kg/m3(1atm 21℃) 

            1.43*10-5當量濃度(1atm,22) 

            7783-54-2 

            2.3類有毒氣體在空氣中的允許含量為29mg/m3 

            包裝規格
            Cylinder(47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、Y-Cylinder(470L)、ISO等

            鋼瓶容積 

            鋼瓶型號 

            閥門 

            鋼瓶壓力 

            氣體質量 

            危規號 

            UN編號 

            包裝分類 

            包裝標志 

            47L、43.3L、40L、8L 

            DOT-3AA、GB5099 

            CGA330、CGA640 

            9.0-13.0MPa 

            22kg、20kg、3.4kg 

            23016 

            2451 

             

            6 

            儲存及運輸
            三氟化氮氣瓶應儲存于陰涼、通風倉庫內。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射,與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。
            三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸,防止鋼瓶及附件破損。
            三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好,用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。
            泄漏應急處理
            如遇有三氟化氮氣體泄露,工作人員要馬上撤離泄漏污染區,并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒,應立即送往醫院救治。
            泄露現場要盡快處理,處理泄露現場的工作人員必須配戴必要的防毒面具,最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場經檢測無危害氣體后方可進入工作人員,泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。
            三氟化氮氣體產品質量標準(Q/718J58-2007)

            雜質 

            NF3≥99.995% Vol.% 

            NF3≥99.99% Vol.% 

            NF3≥99.98% Vol.% 

            NF3≥99.9% Vol.% 

            CF4 

            ≤20 Vol.ppm 

            ≤40 Vol.ppm 

            ≤100 Vol.ppm 

            ≤500 Vol.ppm 

            N2 

            ≤5 Vol.ppm 

            ≤5 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 

            ≤50 Vol.ppm 

            O2+Ar 

            ≤3 Vol.ppm 

            ≤5 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 

            ≤50 Vol.ppm 

            CO2 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤5 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 

            H2O 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤1 Vol.ppm 

            酸份(HF) 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤1 Vol.ppm 

            SF6 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤2 Vol.ppm 

            ≤2 Vol.ppm 

            ≤25 Vol.ppm 

            N2O 

            ≤1 Vol.ppm 

            ≤5 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 

            CO 

            ≤0.5 Vol.ppm 

            ≤5 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 

            ≤10 Vol.ppm 



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